出展社リスト
（お申込み順に記載しております）
株式会社デンソー / DENSO CORP.
https://www.denso.com/jp/ja/【出展の見どころ】
エレクトレットを用いたMEMS型振動発電デバイスの開発を目指しています。エレクトレット材料は，新規無機材料系薄膜で，静電式振動発電デバイスを出展します。エレクトレット薄膜材料は，表面電位：～1000Vで，発電量：～500μWを実現しています。このMEMS振動発電機のアプリケーションアイデアを募集しています。是非ブースにお立ち寄りください。
九州工業大学 マイクロ化総合技術センター/ Center for Microelectronic Systems, Kyushu Institute of Technology
https://www.cms.kyutech.ac.jp/【出展の見どころ】
当センターは，半導体およびＭＥＭＳ素子の「試作基盤プラットフォーム」で，設計から製造・評価まで一貫した研究開発が可能な，国内の大学でも稀有な施設です。
また，CMOS製造を体験できるセミナーを年複数回開催しており，日本各地から幅広い年代と職種の方にご参加いただいております。今年度より，LSI設計の基礎から学べ，独自デバイス作成可能なセミナーも開始します。
株式会社アイカムス・ラボ / ICOMES LAB Co.,Ltd.
https://www.icomes.co.jp/【出展の見どころ】
1. 成形サービス
薬剤吸着が少ないシクロオレフィンポリマー(COP)を使用し，マイクロ流路デバイス(幅，高さ40μm～)を作製します。
2. マイクロチューブポンプシステム
超小型ペリスタポンプにより，精密微量送液が可能です。流量は1～2000µL/minで調整できます。
株式会社山本鍍金試験器 / YAMAMOTO-MS CO., Ltd
https://www.yamamoto-ms.co.jp/【出展の見どころ】
株式会社山本鍍金試験器は，めっき用試験器・分析器・小型装置の専門メーカーです。本展示では，2～12inchシリコンウェハめっき装置を紹介します。専用の治具と水槽を使用することで，半導体・MEMSの精密なめっきが行えます。標準装置をベースに，お客様のサンプルに合わせた形状の治具や両面めっき用治具のカスタマイズも可能ですので，ぜひご相談ください。
株式会社ミライズテクノロジーズ / MIRISE Technologies Corporation
https://www.mirise-techs.com/【出展の見どころ】
・デンソーとトヨタ自動車の半導体技術を結集
・半導体でイノベーションを起こし，未来のモビリティ社会を実現
・世界の研究パートナーと共に車載半導体のイノベーションをリード
株式会社 エリオニクス / ELIONIX INC.
https://www.elionix.co.jp/【出展の見どころ】
電子ビーム描画装置やECRイオンビームスパッタ装置をご紹介いたします。微細加工でお困りの方は，ぜひ弊社ブースへお立ち寄りください。
ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社 / Heidelberg Instruments KK
https://heidelberg-instruments.com/ja/【出展の見どころ】
ハイデルベルグ・インストルメンツは微細構造形成用のレーザー描画装置を設計，開発，製造しており，直接描画およびフォトマスク製造のフォトリソグラフィー業界に世界的に貢献しています。応用分野としてはMEMS，マイクロオプティクス，3DICのような最先端のパッケージング，FPD，マイクロ流路，センサー，アナログ，デジタル電子部品を含みます。すでに50カ国以上で研究開発，プロトタイプ生産，量産で使用されています。
株式会社フィジックステクノロジー / Physix Technology Inc.
https://physix-tech.com/index.html【出展の見どころ】
1. ドイツ SmarAct 社製精密位置決め装置
最先端のマイクロ・ナノデバイス製造に必須の 2PP(二光子重合)を支える，ナノスケールの高い繰り返し精度と最小分解能 1nm を両立した超精密ポジショニングシステム，そして顕微鏡ステージを提案いたします。
2. フランス microlight3D 社製マスクレス露光機
R&D や試作用には，DMD による最小加工サイズ 1.5μm，最大 5”角ウエハに対応を実現したデスクトップ型マスクレス露光装置 Smart Print UV を提案いたします。
神港精機株式会社 / SHINKO SEIKI CO.,LTD.
http://www.shinko-seiki.com/【出展の見どころ】
真空技術をベースに，機能性表面処理技術として「アーク放電式スパッタリング装置」「PIG式ナノ多層DLC装置」「大気圧プラズマクリーニング装置」をパネル展示いたします。ドライプロセス処理による，各種表面処理技術をサンプルと共に展示いたします。
株式会社フォトロン / PHOTRON LIMITED
https://www.photron.co.jp/service/hsvcam/【出展の見どころ】
最新のハイスピードカメラやその事例を，実機や動画を交えてご紹介いたします。
日本ゼオン株式会社 / ZEON CORPORATION
https://www.zeon.co.jp/【出展の見どころ】
シクロオレフィンポリマー（COP）を用いたマイクロ流路チップワンストップサービスのご紹介
テクノプリント株式会社 / Technoprint co.,LTD
https://technoprint.co.jp/【出展の見どころ】
テクノプリント(株)は，開発・試作フェーズの技術支援を専門としております。少量・多条件での試作対応や最適条件のご提案から結果検証まで，開発プロセス全体をサポートいたします。ガラス基板・Siウエハ・各種フィルム基材での試作実績も多数ございます。実験上の課題やご相談は，ぜひお問い合わせください。
日本カンタム・デザイン株式会社 / Quantum Design Japan, Inc.
https://www.qd-japan.com/【出展の見どころ】
マスク不要で高速・高精度なパターン作製を実現するマスクレス露光装置「MicroWriter ML Family」を展示。最小0.4µmの高解像度描画，365nm/405nmの二波長対応，電動レンズチェンジャーを搭載し，多様なレジストや基板に柔軟に対応。半導体・MEMS・量子デバイス開発における試作期間短縮とコスト削減に貢献します。
クアンサイエント / Quanscient
https://quanscient.com/【出展の見どころ】
日本のセンサー・MEMS開発に革新を。次世代クラウド解析ツール「Allsolve」が島根に登場！従来の限界を超える最大1000倍のスループットで，諦めていた大規模なマルチフィジックスシミュレーションを一気に実行。導入は一切不要，ブラウザ上で全工程が完結します。主要CADとの高度な連携とAI技術により，特性評価（キャラクタリゼーション）を圧倒的スピードで実現。詳細はぜひブースにて！
ネオアーク株式会社 / NEOARK CORPORATION
https://www.neoark.co.jp/product/palet/【出展の見どころ】
マスクレス露光装置PALET
・コンパクト，簡単操作，低価格=手軽に電極パターンや流路製作，光刺激などが可能
特徴・デスクトップPCサイズ=設置場所を選ばない・ユーザフレンドリーなオリジナルソフト=初心者にも扱いやすい
ASTI株式会社 / ASTI CORPORATION
https://www.asti.co.jp/【出展の見どころ】
中空マイクロニードルアレイやマイクロ流路チップ接着品を中心に展示します。また，薬剤ムダを低減するローデッド極細注射針(35G:Φ0.16mm)やローデッドシリンジなどの医療機器も併せて展示いたします。
株式会社協同インターナショナル / Kyodo International Inc.
https://www.kyodo-inc.co.jp/index.html【出展の見どころ】
マイクロ流体研究を支える高精度フローコントロール
Elveflowは，空圧制御による高精度・高速応答のフローコントローラーです。Organ-on-a-Chip，オルガノイド培養，脂質ナノ粒子（LNP）製造，空間トランスクリプトミクス（MERFISH・seqFISH），液滴生成（Droplet Microfluidics）など幅広いアプリケーションに対応。流量センサーやバルブとの連携により，自動化・高再現性・ハイスループットな実験環境を実現します。
東芝グループ / Toshiba Group
https://www.global.toshiba/jp/top.html【出展の見どころ】
東芝とその事業関連会社が開発しているMEMS関連製品及び試作品をご紹介します。具体的には，東芝グループ内で開発したMEMSコア部品を搭載したニューフレアテクノロジー社マルチビームマスク描画装置の紹介や，研究開発中のMEMＳ製品のデモ動画などを展示致します。
株式会社樹研工業 / Juken Kogyo Co., Ltd.
https://www.juken.com/【出展の見どころ】
株式会社樹研工業は精密樹脂部品の射出成形メーカーです。金型から成形設備に至る一貫した自社開発体制により，極小部品の安定量産と高度な品質保証を実現しております。光学，医療，自動車等，多様な分野の課題解決に貢献いたします。また，全工程の内製化により，試作から量産への迅速な移行と厳格な機密保持が可能です。本展示では，微細加工技術の結集である「超精密金型入子」および「極小成形部品」をご覧いただきます。
株式会社高純度化学研究所 / Kojundo Chemical Lab. Co., Ltd.
https://www.kojundo.co.jp/【出展の見どころ】
1. 各種スパッタリングターゲットの製造・販売
PZT，KNN向け12”クラススパッタリングターゲットから，電極・バッファー層向けLaNiOx，LiNbO3，TiN，SRO等の高密度スパッタリングターゲットを提供可能。
2. 米国ラジアント・テクノロジー社製 強誘電体・圧電体評価装置，及び薄膜用Dual e31 計測冶具
1つのカンチレバー試料で正・逆圧電e31を同時計測可能。
株式会社精工技研 / Seikoh Giken Co., Ltd
https://www.seikoh-giken.co.jp/【出展の見どころ】
金型設計，金型製作，精密成形を軸に薄肉成形品や微細パターン(nｍレベル)を転写させた製品を試作開発から対応可能です。
マイクロ流路チップやマイクロアレイなど，量産成形をクリーンルームで成形や貼合せ・接合などの後工程も行っております。
是非お立ち寄りください。
横河電機株式会社 / Yokogawa Electric Corporation
https://www.yokogawa.co.jp/【出展の見どころ】
本展示では，横河電機のMEMSであるシリコンレゾナントセンサの原理と特長を紹介し，プラント制御用差圧・圧力伝送器EJXシリーズに搭載のDPharpや，南海トラフ地震に備えた海底地震津波観測網（N‑net）用水圧計に搭載のSDRなどの応用事例を展示します。
日本化薬株式会社 / Nippon Kayaku Co., Ltd.
https://www.nipponkayaku.co.jp/【出展の見どころ】
日本化薬では独自のエポキシ樹脂をベースとした感光性レジスト材料を開発しています。ドライフィルム・液状レジストの製品ラインナップを取り揃えており， MEMS/半導体パッケージを中心とする幅広い用途に展開・供給しています。本展示では，高アスペクト比の構造形成に適した「SU-8 DFR」や，構造形成から基板接合まで一材で実現する「KPM DFR」など，マイクロ流路に最適なドライフィルムレジストについて，試作例含めてご紹介します。