出展社リスト
（お申込み順に記載しております）
株式会社デンソー / DENSO CORP.
https://www.denso.com/jp/ja/【出展の見どころ】
エレクトレットを用いたMEMS型振動発電デバイスの開発を目指しています。エレクトレット材料は，新規無機材料系薄膜で，静電式振動発電デバイスを出展します。エレクトレット薄膜材料は，表面電位：～1000Vで，発電量：～500μWを実現しています。このMEMS振動発電機のアプリケーションアイデアを募集しています。是非ブースにお立ち寄りください。
九州工業大学 マイクロ化総合技術センター/ Center for Microelectronic Systems, Kyushu Institute of Technology
https://www.cms.kyutech.ac.jp/【出展の見どころ】
当センターは，半導体およびＭＥＭＳ素子の「試作基盤プラットフォーム」で，設計から製造・評価まで一貫した研究開発が可能な，国内の大学でも稀有な施設です。
また，CMOS製造を体験できるセミナーを年複数回開催しており，日本各地から幅広い年代と職種の方にご参加いただいております。今年度より，LSI設計の基礎から学べ，独自デバイス作成可能なセミナーも開始します。
株式会社アイカムス・ラボ / ICOMES LAB Co.,Ltd.
https://www.icomes.co.jp/【出展の見どころ】
1. 成形サービス
薬剤吸着が少ないシクロオレフィンポリマー(COP)を使用し，マイクロ流路デバイス(幅，高さ40μm～)を作製します。
2. マイクロチューブポンプシステム
超小型ペリスタポンプにより，精密微量送液が可能です。流量は1～2000µL/minで調整できます。
株式会社山本鍍金試験器 / YAMAMOTO-MS CO., Ltd
https://www.yamamoto-ms.co.jp/【出展の見どころ】
株式会社山本鍍金試験器は，めっき用試験器・分析器・小型装置の専門メーカーです。本展示では，2～12inchシリコンウェハめっき装置を紹介します。専用の治具と水槽を使用することで，半導体・MEMSの精密なめっきが行えます。標準装置をベースに，お客様のサンプルに合わせた形状の治具や両面めっき用治具のカスタマイズも可能ですので，ぜひご相談ください。
株式会社ミライズテクノロジーズ / MIRISE Technologies Corporation
https://www.mirise-techs.com/【出展の見どころ】
・デンソーとトヨタ自動車の半導体技術を結集
・半導体でイノベーションを起こし，未来のモビリティ社会を実現
・世界の研究パートナーと共に車載半導体のイノベーションをリード
株式会社 エリオニクス / ELIONIX INC.
https://www.elionix.co.jp/【出展の見どころ】
電子ビーム描画装置やECRイオンビームスパッタ装置をご紹介いたします。微細加工でお困りの方は，ぜひ弊社ブースへお立ち寄りください。
ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社 / Heidelberg Instruments KK
https://heidelberg-instruments.com/ja/【出展の見どころ】
ハイデルベルグ・インストルメンツは微細構造形成用のレーザー描画装置を設計，開発，製造しており，直接描画およびフォトマスク製造のフォトリソグラフィー業界に世界的に貢献しています。応用分野としてはMEMS，マイクロオプティクス，3DICのような最先端のパッケージング，FPD，マイクロ流路，センサー，アナログ，デジタル電子部品を含みます。すでに50カ国以上で研究開発，プロトタイプ生産，量産で使用されています。
株式会社フィジックステクノロジー / Physix Technology Inc.
https://physix-tech.com/index.html【出展の見どころ】
1. ドイツ SmarAct 社製精密位置決め装置
最先端のマイクロ・ナノデバイス製造に必須の 2PP(二光子重合)を支える，ナノスケールの高い繰り返し精度と最小分解能 1nm を両立した超精密ポジショニングシステム，そして顕微鏡ステージを提案いたします。
2. フランス microlight3D 社製マスクレス露光機
R&D や試作用には，DMD による最小加工サイズ 1.5μm，最大 5”角ウエハに対応を実現したデスクトップ型マスクレス露光装置 Smart Print UV を提案いたします。
神港精機株式会社 / SHINKO SEIKI CO.,LTD.
http://www.shinko-seiki.com/【出展の見どころ】
真空技術をベースに，機能性表面処理技術として「アーク放電式スパッタリング装置」「PIG式ナノ多層DLC装置」「大気圧プラズマクリーニング装置」をパネル展示いたします。ドライプロセス処理による，各種表面処理技術をサンプルと共に展示いたします。
株式会社フォトロン / PHOTRON LIMITED
https://www.photron.co.jp/service/hsvcam/【出展の見どころ】
最新のハイスピードカメラやその事例を，実機や動画を交えてご紹介いたします。
日本ゼオン株式会社 / ZEON CORPORATION
https://www.zeon.co.jp/【出展の見どころ】
シクロオレフィンポリマー（COP）を用いたマイクロ流路チップワンストップサービスのご紹介
テクノプリント株式会社 / Technoprint co.,LTD
https://technoprint.co.jp/【出展の見どころ】
テクノプリント(株)は，開発・試作フェーズの技術支援を専門としております。少量・多条件での試作対応や最適条件のご提案から結果検証まで，開発プロセス全体をサポートいたします。ガラス基板・Siウエハ・各種フィルム基材での試作実績も多数ございます。実験上の課題やご相談は，ぜひお問い合わせください。
日本カンタム・デザイン株式会社 / Quantum Design Japan, Inc.
https://www.qd-japan.com/【出展の見どころ】
マスク不要で高速・高精度なパターン作製を実現するマスクレス露光装置「MicroWriter ML Family」を展示。最小0.4µmの高解像度描画，365nm/405nmの二波長対応，電動レンズチェンジャーを搭載し，多様なレジストや基板に柔軟に対応。半導体・MEMS・量子デバイス開発における試作期間短縮とコスト削減に貢献します。
クアンサイエント / Quanscient
https://quanscient.com/【出展の見どころ】
日本のセンサー・MEMS開発に革新を。次世代クラウド解析ツール「Allsolve」が島根に登場！従来の限界を超える最大1000倍のスループットで，諦めていた大規模なマルチフィジックスシミュレーションを一気に実行。導入は一切不要，ブラウザ上で全工程が完結します。主要CADとの高度な連携とAI技術により，特性評価（キャラクタリゼーション）を圧倒的スピードで実現。詳細はぜひブースにて！
ネオアーク株式会社 / NEOARK CORPORATION
https://www.neoark.co.jp/product/palet/【出展の見どころ】
マスクレス露光装置PALET
・コンパクト，簡単操作，低価格=手軽に電極パターンや流路製作，光刺激などが可能
特徴・デスクトップPCサイズ=設置場所を選ばない・ユーザフレンドリーなオリジナルソフト=初心者にも扱いやすい
株式会社協同インターナショナル / Kyodo International Inc.
https://www.kyodo-inc.co.jp/index.html【出展の見どころ】
マイクロ流体研究を支える高精度フローコントロール
Elveflowは，空圧制御による高精度・高速応答のフローコントローラーです。Organ-on-a-Chip，オルガノイド培養，脂質ナノ粒子（LNP）製造，空間トランスクリプトミクス（MERFISH・seqFISH），液滴生成（Droplet Microfluidics）など幅広いアプリケーションに対応。流量センサーやバルブとの連携により，自動化・高再現性・ハイスループットな実験環境を実現します。
東芝グループ / Toshiba Group
https://www.global.toshiba/jp/top.html【出展の見どころ】
東芝とその事業関連会社が開発しているMEMS関連製品及び試作品をご紹介します。具体的には，東芝グループ内で開発したMEMSコア部品を搭載したニューフレアテクノロジー社マルチビームマスク描画装置の紹介や，研究開発中のMEMＳ製品のデモ動画などを展示致します。
株式会社樹研工業 / Juken Kogyo Co., Ltd.
https://www.juken.com/【出展の見どころ】
株式会社樹研工業は精密樹脂部品の射出成形メーカーです。金型から成形設備に至る一貫した自社開発体制により，極小部品の安定量産と高度な品質保証を実現しております。光学，医療，自動車等，多様な分野の課題解決に貢献いたします。また，全工程の内製化により，試作から量産への迅速な移行と厳格な機密保持が可能です。本展示では，微細加工技術の結集である「超精密金型入子」および「極小成形部品」をご覧いただきます。
株式会社高純度化学研究所 / Kojundo Chemical Lab. Co., Ltd.
https://www.kojundo.co.jp/【出展の見どころ】
1. 各種スパッタリングターゲットの製造・販売
PZT，KNN向け12”クラススパッタリングターゲットから，電極・バッファー層向けLaNiOx，LiNbO3，TiN，SRO等の高密度スパッタリングターゲットを提供可能。
2. 米国ラジアント・テクノロジー社製 強誘電体・圧電体評価装置，及び薄膜用Dual e31 計測冶具
1つのカンチレバー試料で正・逆圧電e31を同時計測可能。
株式会社精工技研 / Seikoh Giken Co., Ltd
https://www.seikoh-giken.co.jp/【出展の見どころ】
金型設計，金型製作，精密成形を軸に薄肉成形品や微細パターン(nｍレベル)を転写させた製品を試作開発から対応可能です。
マイクロ流路チップやマイクロアレイなど，量産成形をクリーンルームで成形や貼合せ・接合などの後工程も行っております。
是非お立ち寄りください。
横河電機株式会社 / Yokogawa Electric Corporation
https://www.yokogawa.co.jp/【出展の見どころ】
本展示では，横河電機のMEMSであるシリコンレゾナントセンサの原理と特長を紹介し，プラント制御用差圧・圧力伝送器EJXシリーズに搭載のDPharpや，南海トラフ地震に備えた海底地震津波観測網（N‑net）用水圧計に搭載のSDRなどの応用事例を展示します。
日本化薬株式会社 / Nippon Kayaku Co., Ltd.
https://www.nipponkayaku.co.jp/【出展の見どころ】
日本化薬では独自のエポキシ樹脂をベースとした感光性レジスト材料を開発しています。ドライフィルム・液状レジストの製品ラインナップを取り揃えており， MEMS/半導体パッケージを中心とする幅広い用途に展開・供給しています。本展示では，高アスペクト比の構造形成に適した「SU-8 DFR」や，構造形成から基板接合まで一材で実現する「KPM DFR」など，マイクロ流路に最適なドライフィルムレジストについて，試作例含めてご紹介します。
豊橋技術科学大学 次世代半導体・センサ科学研究所 / Institute for Research on next-generation Semiconductor and Sensing Science(IRES2), Toyohashi University of Technology
https://www.eiiris.tut.ac.jp/【出展の見どころ】
豊橋技術科学大学 次世代半導体・センサ科学研究所（IRES²）は，半導体技術およびセンシング技術を基盤に融合研究によるエレクトロニクス革新技術の社会実装を目指しています。学外にも開かれた「LSI工場」は，設計から製作・評価まで一気通貫で行える世界有数の共同利用施設です。共同研究・開発の場としてはもちろん，半導体技術者や学生の育成・教育の場としても幅広く活用可能です。皆様の多様なニーズにお応えします。
水戸工業株式会社 / MITO KOGYO CO.,LTD.
https://mitokogyo-medlab.com/【出展の見どころ】
ナノリットル高速微量分注装置I.DOT LT：一度に12種類の試薬分注が可能。非接触式でコンタミリスクを軽減。創薬スクリーニングやNGSライブラリー調整，PCRセットアップなどに最適。アッセイのミニチュア化で試薬コストも削減。
マイクロ流路デバイス：精密な流体制御と均一な細胞操作を実現する高再現性チップを1個から試作可能。水戸工業独自のガス透過性樹脂を搭載すれば酸素供給や自然な気泡抜きも可能に。
東京大学マテリアル先端理リサーチインフラストラクチャー・データハブ拠点 / Center of The University of Tokyo for The Advanced Research Infrastructure for Materials and Data Hub1
https://arim.t.u-tokyo.ac.jp/【出展の見どころ】
「大学があなたの研究室になる。」 文部科学省マテリアル先端リサータインフラ事業では全国26の大学・公的機関の実験設備を皆様にご利用いただく事業を推進しています。2026年度より半導体技術の支援をさらに強化いたしました。
日本Zurich Instruments / Zurich Instruments AG
https://www.zhinst.com/japan/jp【出展の見どころ】
Zurich Instrumentsでは多機能のロックインアンプを製造販売，周波数に応じたラインアップを用意しております。単なる信号検出だけでなく，掃引測定や，インピーダンス測定，また，PID/PLLオプションは，MEMSデバイスのコントロールに幅広くご使用いただいております。新機種のVHFLIでは，従来機種を大幅にブラッシュアップして，「ちょうどいい」価格，性能を実現しました。
株式会社ケン・オートメーション / KEN AUTOMATION, INC.
https://www.kenautomation.com/【出展の見どころ】
MEMSメーカー様との協働により開発を進めてきた「中波赤外線カメラによる微小挙動の画像化技術」を出展します。MEMSデバイスの微細な動的挙動を高精度に可視化。開発・品質評価の効率化に貢献します。この機会に，ぜひお気軽にお立ち寄りください。
モル株式会社 / MOL Solutions inc.
https://mol-solutions.com/【出展の見どころ】
MOL Solutions Inc.は，台湾や日本等6カ国に拠点を持ち，インライン対応の革新的な光学・レーザー検査測定技術を専門とするグローバル企業です。今回は，nLやpLオーダの分注が可能なディスポ式分注機と，既存の機器にも後付けできる超小型の2光軸液滴観察ユニットを出展します。世界初となる，全発の履歴参照とコンタミフリーを実現する微量分注操作をご提案いたします。是非，お問い合わせ下さい。
一般財団法人マイクロマシンセンター / Micromachine Center
https://www.mmc.or.jp/【出展の見どころ】
8インチ，12インチのSiウエハに対応した60種類以上のMEMS加工･評価装置を利用できるMNOICの研究開発支援活動，MEMSプロセス技術及び国家プロジェクトに参画して試作したMEMSデバイスのサンプルウエハを展示します。
セーレンアドバンストマテリアルズ株式会社/SEIREN Advanced Materials Corp.
https://www.sam.seiren.com/【出展の見どころ】
・熱酸化
4～12インチで対応可能です。厚膜（最大25μm）が可能。高品質な厚膜熱酸化は世界中の光デバイス分野でご使用頂いております。
・SOIウェーハ
4～8インチで対応可能です。お客先のご要望に沿ったカスタム構造の生産が可能です。
2026年高精度公差品（±0.2μｍ）の販売を開始しました。
国立大学法人香川大学マテリアル先端リサーチインフラ事業/Kagawa University ARIM
https://www.kagawa-u.ac.jp/arim/【出展の見どころ】
香川大学マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）では，最先端研究設備の共用と高度な技術支援の提供に加えて，共用に伴って創出されるマテリアルデータを，利活用しやすい構造化された形で，収集・蓄積を行います。共用設備，研究成果データの利活用事例について紹介します。
東京応化工業株式会社/TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
https://www.tok.co.jp/【出展の見どころ】
東京応化工業は，センサー・MEMS・マイクロ流体デバイスの高機能化を支える材料をご紹介します。感光性永久膜(液レジ/DFR)による高アスペクト構造形成，超親水コーティング材料による流路表面の濡れ性制御，EBレジスト（電子線描画）による高解像微細加工，多孔質ポリイミドフィルムの防水透気・ガスセンサー用途まで，デバイス形成から機能付与までのソリューションをご提案します。
ブロンコスト・ジャパン株式会社 / Bronkhorst Japan
https://www.bronkhorst.com/ja/【出展の見どころ】
マイクロ流量を正確に測定及び制御するコリオリメーターの展示
株式会社セントラル科学貿易 / Central Scientific Commerce, Inc.
https://cscjp.co.jp/【出展の見どころ】
海外の最新かつ話題の製品を展示いたします。
皆様の研究に役立つ製品を多数そろえておりますので，是非お立ち寄りください。
ユニテンプジャパン株式会社 / UniTemp Japan Co., Ltd.
https://www.unitemp.jp/【出展の見どころ】
半導体・電子部品の製造工程における熱処理装置，及び還元式はんだリフロー技術をご紹介します。
アニール装置「RTP-150」と真空はんだリフロー装置「RSS-210-SC」を展示し，高精度な温度制御をはじめ，各種プロセスに対応した加熱技術をご提案します。
AMX株式会社 / AMX Inc.
https://amx.ne.jp/【出展の見どころ】
純国産光造形3Dプリンタ「Ω-LUXシリーズ」から，MEMS向け新機種「Ω-LUX Micro」の試作機を発表します。国内最高レベルの分解能と緻密さを追求し，工業製品の試作に加え，精密コネクタやマイクロリアクター，マイクロニードル，シリコンフォトニクスガイド構造など幅広い分野へ応用を目指します。汎用光硬化レジンからフォトニクス材料まで，豊富なUV硬化材料ラインアップに対応します。
産業技術総合研究所 新世代ハイブリッドパッケージング拠点 / National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) Tsukuba Advanced Key-Technology cleanroom of Electronics Packaging
https://www.aist.go.jp/【出展の見どころ】
産業技術総合研究所では，微細加工・先端パッケージングの研究が行える，200mmウェハ対応の最新装置を導入した新世代ハイブリッドパッケージング拠点を令和6年4月よりスタートしております。今回は，加工事例の紹介と利用案内をいたします。
文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM） / Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology in Japan
https://nanonet/【出展の見どころ】
マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）は，最先端研究設備／データの共用と専任技術スタッフのサポートで皆様の研究開発を支援します。展示では，共用サービスの概要とともに具体的な利用相談もお受けします。
計測エンジニアリングシステム株式会社 / KEISOKU ENGINEERING SYSTEM CO., LTD.
https://kesco.co.jp/【出展の見どころ】
COMSOL Multiphysics(R)によるマルチフィジックスシミュレーションと，SmartUQ(R)による不確かさ定量化・感度解析・最適化をご紹介します。MEMS，センサ，マイクロ流体などの設計・研究開発を，解析からパラメータ探索まで効率化する最新の活用方法をぜひ会場でご覧ください。
株式会社ガイアニクス / Gaianixx
https://gaianixx.com/【出展の見どころ】
独自技術「多能性(R)中間膜」の格子整合効果により誕生した単結晶PZT薄膜を出展いたします。圧倒的な圧電特性と優れた電圧線形性を両立し，MEMSや各種センサー，音響・超音波デバイス等の超精密制御と省電力化を実現します。デバイスの性能向上や小型化をお考えの技術者の皆様のご来場をお待ちしております。
IMT台湾/マイクロ化学技研 / IMT TAIWAN/Institute of Microchemical Technology
https://www.i-mt.co.jp/【出展の見どころ】
マイクロ流体技術は，微小空間での高速混合や精密な温度制御により，従来法では困難な高品質材料の合成を実現します。弊社では，化学プロセスを単位操作ごとにモジュール化し，条件探索からプロセス構築までを大幅に加速するマイクロ流体システムを展示します。さらに，量産システムの導入実績とともに，研究開発から量産までをつなぐ弊社のマイクロ流体技術を紹介します。
株式会社ベテル/BETHEL Co., Ltd
https://hrd-thermal.jp/【出展の見どころ】
我々は熱伝導率・熱拡散率などの熱物性測定を専門とし，受託測定から評価装置の開発・販売，技術コンサルティングまでのサービスを提供しています。薄膜，複合材料，電子部品など幅広い材料に対応し，高精度な測定技術で研究開発や品質向上を強力にサポート。豊富な実績と専門知識を活かし，お客様の製品性能向上や熱対策の最適化に貢献いたします。
東北大学 田中秀治研 / Tohoku University Tanaka-S Lab.
https://www.mems.mech.tohoku.ac.jp/【出展の見どころ】
東北大学田中秀治研の取り組みを紹介。今回，新たにキックオフしたT-CHIPS半導体先端パッケージング・ヘテロ集積化技術に関する研究開発コンソーシアムについてもご紹介いたします。
関東学院大学 材料・表面工学研究所 / Materials and Surface Engineering Research Institute, Kanto Gakuin University
https://mscenter.kanto-gakuin.ac.jp/【出展の見どころ】
～めっきでフィルムに直接回路を描く～
樹脂フィルムの表面を選択的に改質し，無電解めっきによって必要な部分だけに金属を析出させる「ダイレクトパターニング技術」。レジスト成膜～エッチング工程を省略し，フィルム上に金属回路を直接形成します。LCPやCOP等，高周波・高速通信分野で注目されるフィルム材料への応用を視野に入れた，次世代エレクトロニクスを支える新たな表面処理・配線形成技術をご覧ください。
株式会社マクニカ / MACNICA Inc,
https://www.macnica.co.jp/business/semiconductor/articles/analog_devices/134832/【出展の見どころ】
PalmSens社(オランダ)の電気化学測定モジュール「Sensit Wearable」を中心に展示します。Sensit Wearableは，ウェアラブルバイオセンサーの研究・開発・検証向けの最先端デバイスです。10種類の電気化学測定法に対応し，2つのバイオマーカーを同時解析可能。重さ10g，50mAhバッテリー搭載で長時間稼働。USB-CやBluetoothで接続でき，加速度センサーや自動測定スクリプト機能も備えています。