技術展示出展 | 第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

出展社リスト

日本ゼオン株式会社 / ZEON CORPORATION https://www.zeonoss.com/ 【出展物概要】シクロオレフィンポリマー（ COP ）を用いたマイクロ流路チップワンストップサービスのご紹介
ASTI株式会社 / ASTI CORPORATION https://www.asti.co.jp/micro-device/ 【出展物概要】横孔式中空マイクロニードル（新規開発品）やマイクロ流路デバイスを中心に展示します。また，細く低侵襲な注射針や薬剤を無駄にしない注射器などの医療機器も併せて展示いたします。
株式会社エス・イー・アール / S.E.R. Corporation https://www.ser.co.jp/ 【出展物概要】・センサ，MEMS デバイスの評価，検証用ソケット製品・同軸端子構造を持つ高周波デバイス対応IC ソケット・Lab-on-chip，マイクロ化学システム（microTAS），DNA チップに対応したインターフェースユニット製品“RYURO”
日本カンタム・デザイン株式会社 / Quantum Design Japan https://www.qd-japan.com/products/driveafm/ 【出展物概要】微細加工技術の進歩に伴い，加工後の製作物の検査技術も進歩し続けています。昨年リリースされたばかりのSEM・AFM一体型装置「FusionScope」のほか，スイスNanosurf社製AFMをご紹介します。また，新しく取り扱いを開始したカナダZaber社の組込式リニアステージについてもご紹介します。
一般財団法人マイクロマシンセンター / Micromachine Center https://www.mmc.or.jp 【出展物概要】 8インチ及び一部12インチのSiウエハに対応した60種類以上のMEMS加工･評価装置を利用できるMNOICの研究開発支援活動,MEMSプロセス技術及び国家プロジェクトに参画して試作したMEMSデバイスのサンプルウエハを展示します。
ローム株式会社 / ROHM Co., Ltd. https://www.rohm.co.jp/ 【出展物概要】センサ・マイクロマシンの応用の際に役立つロームの技術を紹介します
ジオマテック株式会社 / GEOMATEC Co.,Ltd. https://www.geomatec.co.jp/ 【出展物概要】・表面処理技術：真空成膜，表面改質，フォトリソグラフ・薄膜センサ素子：薄膜熱電対，薄膜ひずみゲージ，超小型ロードセル
東京応化工業株式会社 / TOKYO OHKA KOGYO CO.,LTD. https://www.tok.co.jp/ 【出展物概要】東京応化工業は，感光性材料フォトレジストのトップメーカーとして高分子設計技術・微細加工技術・高純度化技術を応用しさまざまな産業分野の開発をサポートします。本展示ではマイクロ流路やMEMS などの構造体形成材料や超親水コーティング材料，感光性撥水/撥油材料，UV ナノインプリント材料，多孔質ポリイミドフイルムなどをご紹介します。
株式会社デンソー / DENSO CORPORATION https://www.denso.com/jp/ja/ 【出展物概要】デンソーは，無機材料系の薄膜エレクトレットを用いた，MEMS型振動発電デバイスの開発を目指しています。弊社が新規開発したエレクトレット薄膜材料は，無機イオン伝導性の材料で，表面電位：～600Vを保持しています。この材料を用いた機械式静電式振動発電デバイスの発電量は～500μW（最大値）です。今後は，本技術のMEMSデバイス化に取組み、車載デバイスへの応用を目指します。また，開発中のMEMS振動発電デバイスのアプリケーションアイデアを募集しています。是非ブースにお立ち寄りください。
住友精密工業株式会社 / Sumitomo Precision Products co., ltd. https://www.spp.co.jp/ 【出展物概要】住友精密グループが30年以上のMEMS事業の歴史で培った3つの強みである，「デバイス開発」，「量産能力」，「プロセス装置技術」で，お客様のMEMSデバイス事業化を全面的にサポートします。MEMSデバイスの事業化をご検討の方は，是非お立ち寄りください。
株式会社ミライズテクノロジーズ / MIRISE Technologies Corporation https://www.mirise-techs.com/ 【出展物概要】・デンソーとトヨタの半導体技術を結集・半導体でイノベーションを起こし,未来のモビリティ社会を実現・世界の研究パートナーと共に車載半導体のイノベーションをリード
ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社 / Heidelberg Instruments KK https://heidelberg-instruments.com/ 【出展物概要】ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニク社製マスクレスレーザー露光機，3Dプリンター，サーマルプローブリソグラフィー装置の紹介を致します。マスクレスレーザー露光機は卓上型から大型基板向け装置をフルラインナップ。3Dプリンターは2光子重合法での最小100nm構造形成が可能。サーマルプローブリソグラフィー装置は数十nmのパタニングが可能なユニークな装置です。
株式会社アイカムス・ラボ / Icomes Lab Co., Ltd. https://www.icomes.co.jp/ 【出展物概要】マイクロ流体デバイス，マイクロチューブポンプシステム
株式会社ASICON/microfluidic ChipShop/Fluigent / ASICON/microfluidic ChipShop/Fluigent https://www.asicon-tokyo.com 【出展物概要】 1. マイクロ流体チップカタログ掲載 / off-the-shelf品の販売と試作，量産･OEM生産に対応。例: Organ-on-a-chip / MPS，W/O液滴生成，細胞のソーティング，DNAの抽出やPCRによる増幅･検出 2. 圧力制御式ポンプ脈流の無い高速応答のポンプシステムFlow EZ。用途例: 還流細胞培養，微小液滴生成，リポソーム等のDDS粒子生成 3. 自動細胞培養装置 OMI 灌流，再循環等の送液プロトコルを設定可。インキュベータ内で使用可能。
セイコーエプソン株式会社 / SEIKO EPSON CORPORATION https://www.epson.jp/ 【出展物概要】セイコーエプソンのMEMS・環境・材料技術の紹介および実機展示
文部科学省　マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM Japan） / Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology in Japan （ARIM Japan） https://nanonet.mext.go.jp/ 【出展物概要】マテリアル先端リサーチインフラは，全国の大学研究設備の共用事業です。皆様の研究開発に必要な微細加工プロセス，計測・分析等の装置の利用と技術，ノウハウを専任技術スタッフが提供します。展示では，共用サービスの概要と利用方法，利用事例などをご紹介します。
東京大学マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点～革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル～（東京大学・広島大学・日本原子力研究開発機構） / Center of The University of Tokyo for The Advanced Research Infrastructure for Materials and Data Hub https://arim.t.u-tokyo.ac.jp/ 【出展物概要】「あなたの実験室が東京大学にあります。」 MEMSデバイスが作製できる超高速電子線露光装置，シリコン深堀エッチング装置をはじめとする最先端の微細加工装置群と透過電子顕微鏡，X線回折などのナノスケールの解析装置を共用しています。
株式会社SIJテクノロジ / SIJTechnology, Inc. https://sijtechnology.com/ 【出展物概要】シングルミクロンレベルの微細塗布が可能な世界最小液滴を形成できるスーパーインクジェット技術をはじめ，ピエゾインクジェット，ディスペンサー技術，スプレー技術，5軸3Dプリンテッドエレクトロニクスシステムなど塗布技術，装置技術をご紹介させて頂きます。
株式会社テクニスコ / TECNISCO, LTD. https://www.tecnisco.com/ 【出展物概要】 MEMS部品のキャップガラス，微細加工の紹介
シーエステック株式会社 / CSTEC CORPORATION https://www.cstec-jp.com 【出展物概要】オリジナルマイクロ流路を1個から製作できます。
BMF Japan 株式会社 / BMF Japan Inc. https://www.bmf3d.co.jp/ 【出展物概要】 BMF社は解像度(Resolution)，正確度(Accuracy)，精度(Precision)という3つの重要な分野で，卓越した独自の組み合わせを必要とするさまざまな事例に対応する，最先端の常識を打ち破る精密3D造形技術を提供します。BMFの独自の積層造形技術により，圧倒的な精度2µmと±10µmの公差を実現しています。金型製作不要で，製品開発コストの大幅な削減や開発期間短縮を実現できるだけでなく，従来の切削加工や金型では難しい複雑微細構造を実現します。
ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社 / Sony Semiconductor Manufacturing Corporation https://www.sony-semicon.com/ja/index.html 【出展物概要】 CMOSイメージセンサーのデモを出展します。
MMIセミコンダクター株式会社 / MMI SEMICONDUCTOR CO., LTD. https://www.mmi-semiconductor.co.jp/ 【出展物概要】弊社は1990年代から様々なMEMS製品を事業化し，世に送り出してきました。ミネベアミツミ傘下で2021年秋に新会社のMMIセミコンダクター(株)として新たなスタートを切りました※。弊社で展開するMEMS事業および技術の紹介をしていますので，ぜひブースへお越しください。（※ オムロンの半導体工場とMEMS事業が，2021年10月にミネベアミツミグループへ譲渡されました）
株式会社アドバンテスト / ADVANTEST CORPORATION https://www.advantest.com/ja/ 【出展物概要】温度,ひずみなどの計温度，ひずみなどの計測を無線で簡単に行えるデータロガーを展示します。超小型の測定ユニットで測定したデータを無線通信でPCにリアルタイム表示。電圧，圧力，加速度などの計測も同時に行えます。また，半導体製造装置の内部を計測する専用計測器も参考出展します。
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ / SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd. https://www.screen.co.jp/spe/ 【出展物概要】スマートフォンや家電製品，自動車をはじめ，各種センシングデバイス，MEMS，パワーデバイス，IoTなどにも大きく関与する半導体。私たちは京都に本社を構える創業80周年の半導体製造装置メーカーです。グローバルシェアNo.1のウェーハ洗浄装置のほか，塗布・現像，熱処理，検査・計測分野で活躍する，多彩な装置ラインアップをご紹介します。
ネオアーク株式会社 / NEOARK CORPORATION https://www.neoark.co.jp/product/palet.html 【出展物概要】 ◎マスクレス露光装置 PALET （メインでご紹介）・コンパクト，簡単操作，低価格＝手軽に電極パターンや流路製作，光刺激などが可能特徴①：デスクトップPC サイズ＝設置場所を選ばない特徴②：ユーザフレンドリーなオリジナルソフト＝初心者にも扱いやすい特徴③：約１０分の１～の価格設定＝圧倒的な低価格 ◎3次元形状レーザ露光装置（簡易ご紹介）特徴：様々な3次元形状（曲面，球面，円筒，など）へ露光可能
ハイソル株式会社 / HiSOL,Inc. https://www.hisol.jp/ 【出展物概要】・マニュアルダイボンダー・マニュアルワイヤーボンダー
株式会社マトリクソーム / MATRIXOME, Inc. https://matrixome.co.jp/ 【出展物概要】 iMatrix製品細胞は細胞外マトリックス（ECM ）と相互作用（接着）する事で細胞の運命を決定しています。 ECM タンパク質の一種であるラミニンは少なくとも 12 種類のアイソフォームがあり，組織ごとに特徴的な発現をする事が知られています。 ECM 環境が無い細胞培養では，生体内と同じ生理活性を示すことが困難です。しかし，ラミニンの E8 断片を高純度に精製した iMatrix 製品は，細胞培養基質として生体内の環境を細胞培養で再現する事が期待できます。
株式会社新興精機 / Shinkouseiki Co., Ltd. https://www.shinkouseiki.co.jp/ 【出展物概要】 1964年の創業以来,医科機器･理化学機器一筋に歩んで参りました。現在,商社兼独自の製品開発を行うメーカーとしての強みを活かし,産官学全てを対象に最先端分野の研究に必要な分析櫨器･計測器等をご提供しています。今回展示している韓国FEMTO SCIENCE のプラズマ装置は,日本国内の総発売元として晨示しています。この装置は長年にわたり多くのCheminas学会員様にご愛用頂き,ユーザ一様のご息見を参考にリニューアルした製品になります。弊社のオリジナル商品及び正規直輸入をまとめたリーフレットも是非ご覧下さい。
ロイヤルセンシング合同会社 / Loyal Sensing LLC http://www.loyalsensing.com/ 【出展物概要】弊社は磁気応用センサを研究しています．研究のコンセプトは磁性体とコイルだけで構成するシンプルさです．しかし奇抜な発想により，高感度な磁界センサや，オフセットが生じない直流大電流センサなどを実現しています．今般は，100mmの距離でφ0.1mmの鉄球を検出できる金属検出機に搭載されているUM磁界センサと，kAオーダの電流を通電してもmAレベルのオフセットすら生じない直流電流センサを出展します．
株式会社ティ・ディ・シー / TDC Corporation https://mirror-polish.com/ 【出展物概要】超精密研磨加工技術多様な材質のウエハ精密研磨，薄化研磨ウエハ洗浄サービス，接合サービスナノインプリント金型の精密研磨技術などをご紹介します。
SPPテクノロジーズ株式会社 / SPP Technologies Co., Ltd. https://www.spp-technologies.co.jp/ 【出展物概要】 SPPテクノロジーズは，MEMSデバイスならびに半導体デバイス（化合物半導体：パワーデバイス，高周波デバイス，光デバイス）製造用装置の開発，製造，輸入，販売，および保守（リモートサポート対応可能）を行っております。ニッチマーケットをターゲットとして，それぞれの市場でトップを狙います。
兵庫県立大学MEMSデバイス開発支援センター / University of Hyoto MEMS development support center https://d4uh.sakura.ne.jp/MEMSC/ 【出展物概要】 4インチ Si プロセス装置が報告書等も不要でお気軽にご利用可能です。姫路に寄ったついでに MEMS プロセスいかがでしょうか？圧電 PZT 薄膜やNdFeB 磁石薄膜基板のサンプル供給，その他 MEMS プロセス依頼加工も承ります。商用利用も可。展示ではウエハサンプルもご覧になれます。主な利用可能設備：熱酸化炉， CVD ，汎用スパッタ， PZT スパッタ，マスクアライナ， EB 描画， DRIE ，汎用 ICP RIE SEM AFM ，ドップラー振動計，高速度カメラ他
株式会社タクミナ / TACMINA CORPORATION https://www.tacmina.co.jp/ 【出展物概要】・ラボ用 5～5000µL/min×3.0MPa 高圧微小流量ダイヤフラムポンプ『Q』・パイロット～生産設備用 300ml/min×10.0MPa 高精密ダイヤフラムポンプ『TPL』
豊橋技術科学大学次世代半導体・センサ科学研究所 / Institute for Research on next-generation Semiconductor and Sensing Science, Toyohashi University of Technolog https://www.eiiris.tut.ac.jp/ 【出展物概要】豊橋技術科学大学次世代半導体・センサ科学研究所(IRES²)は次世代半導体技術およびセンシング技術を基盤とした「エレクトロニクス革新技術」を先端的応用分野との融合研究を通じて，社会実装への展開を目的としています。本研究所の「LSI工場」は世界でも稀な半導体集積回路・センサを設計から製作・評価まで一気通貫で行える共同利用施設であり，学外からの利用も広く受け入れ研究開発にお役立ていただけます。
株式会社TCK / TCK inc. http://tck-i.jp/ 【出展物概要】微細加工用各種装置（光加工ならびに電子ビーム加工）のカタログ展示と，超高真空用ハイブリッド型スパッタリング・イオン・ポンプを展示します。特にSIPは，従来製品よりも小型でありながら30〜100倍以上の排気性能を実現し，またケミカル作用を応用した非蒸発型ゲッターポンプとのハイブリッド化による停電対応も実現した製品です。
東洋精密工業株式会社 / TOYO PRECISION PARTS MFG. CO., LTD https://www.toyo-ppm.co.jp/ 【出展物概要】半導体素子やパッケージ，ディスプレイ，MEMS センサなどの製品に広く使用されています。（9 インチ以下なら，座標精度保証可能）その他，校正用の原器やスケールとしても用いられています。
三井化学株式会社 / Mitsui Chemicals, Inc. https://jp.mitsuichemicals.com/jp/index.htm 【出展物概要】弊社が開発したポリ乳酸をベースとした有機圧電フィルム（ミューフレックス®）とその応用事例を出展します。ミューフレックス®は従来の有機圧電材料（PVDF）に比べ非焦電性由来の高い温度安定性を有しており，民生家電分野の押圧センサやバイタルセンサで社会実装が進んでいます。またPFAS規制の対象外であることも特徴です。今回，センサやアクチュエータとしての応用事例を見て触って体感できる形で展示致します。
株式会社シーズテック京都バイオ研究所 / SEEDS TEC Co., Ltd. 【出展物概要】
太洋工業株式会社 / TAIYO INDUSTRIAL CO.,LTD. https://www.taiyo-tx.com/ 【出展物概要】・FPCを使用した各種センサーのご紹介。・「FPCができるまで」製造工程を動画にてご説明。
田中貴金属工業株式会社 / TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K. https://www.tanaka.co.jp/ 【出展物概要】・ウェハレベル封止ボンディング向け金スズ施工技術のご紹介・低温接合，高温耐久PbフリーTLP接合材料のご紹介
フコク物産株式会社 / FUKOKU BUSSAN CO.,LTD. https://fukoku-jp.net/ 【出展物概要】 PDMSマイクロ流路chip親水化サンプル他
マイクロ化学技研株式会社 / Institute of Microchemical Technology Co., Ltd. https://www.j-mt.co.jp/ 【出展物概要】マイクロフルイディクスの実験に不可欠な空圧式送液装置と流路幅のラインナップが充実した既製品ガラスチップ
アメテック株式会社ザイゴ事業部 / ZYGO Business Unit, AMETEK KK https://www.zygo.jp/ 【出展物概要】弊社ZYGOの垂直走査低コヒーレンス干渉計(白色干渉計)である，Nexview NX2・Newview9000・ZeGage Proシリーズについて出展いたします。弊社は本分野で30年以上の実績があり，どのような測定に対してもより多くのデータを取得し，誰でも短時間，簡単に高い信頼性をもつデータ取得が可能できるという点に注力しております。
神港精機株式会社 / SHINKO SEIKI CO.,LTD. https://www.shinko-seiki.com/ 【出展物概要】関西ものづくり新選2023にて入賞したアーク放電式スパッタリング装置をはじめ，DLCコーティングシステム等，紹介パネルと共にサンプルを展示いたします。
豊橋技術科学大学集積化バイオセンサ・MEMSグループ / Integrated Biosensor and MEMS Group, Toyohashi University of Technology https://int.ee.tut.ac.jp/bio/ 【出展物概要】豊橋技術科学大学では，東京工業大学、広島大学と共に集積Green-niX研究・人材育成拠点事業を展開しています。システム・回路・デバイス・プロセス・材料の集積研究とLSIイノベーターの育成を推進しています。また，集積化バイオセンサと次世代MEMS・センサ融合デバイスの実現を目指してLSIで病気の診断や脳科学・生命科学に貢献できる研究を行っています。
メイワフォーシス株式会社 / Meiwafosis Co., Ltd. https://meiwanet.co.jp/ 【出展物概要】私たちのTisseLabsバイオ3Dプリンターは細胞とECMを混ぜ合わせたハイドロゲルをプリントすることで，血管や皮膚などの組織を模倣した3D構造物を作成します。さらに独自のミクストルーサーシステムを採用したことでグラデーションのある構造物も高度に模式します。幹細胞を使用した組織作成や新規ハイドロゲルの開発に興味のある方は，ぜひメイワフォーシス株式会社のブースへお越しください。
アルテック株式会社 / ALTECH CO., LTD. https://www.altech.co.jp/ 【出展物概要】フランスFUMMINK社が開発した『NAZCA』は今までにない革新的なナノ・マイクロレベルのパターニング装置です。高粘度のメタルやポリマーなど多様なインク材料をシリコンウェハはもとよりフィルムなど多様な基板に対しAFMの技術を応用した特許技術と独自のナノ口径ピペットを使用し，サブミクロンから数十ミクロンのパターンのダイレクトプリンティングを可能としています。
株式会社マクニカアルティマカンパニー / MACNICA, Inc., ALTIMA Company https://www.macnica.co.jp/ 【出展物概要】バイオセンシングに多くの利点ある，小型・携帯型の電気化学計測器と化学センサー例
株式会社ハイロックス / HIROX Co., Ltd. https://hirox.com/ 【出展物概要】「観る・撮る・測る」を1台で実現する拡大観察システム，デジタルマイクロスコープをご紹介します。官公庁などの研究機関，企業の研究部門，品質保証部門で多くご活用いただいています。・0～7000倍のレンズラインナップで様々な対象物を観察可能・各種2D計測機能だけでなく，高低差・粗さなど3D計測機能対応・レンズ，スタンド全てが電動で誰もが簡単に精密な操作が可能
大阪公立大学　機能デバイス物性研究室 / Osaka Metropolitan University/Physics of Novel Device Group https://sites.google.com/view/magnetic-energy-harvesting/ 【出展物概要】交流電流が流れる電線に設置するだけでmWクラスの発電が可能なエネルギーハーベスティング(環境発電)技術です。電線の周りに発生する磁界を利用するので，導体自体には触れず絶縁被膜も破りません。そのため，電気工事が不要で後付けが容易，漏電の心配がなく安全性が高い等の特徴を有します。本発電技術は，屋外，地下，水中などの過酷環境でも利用可能であり，民生／産業用IoT端末の電力供給源として最適です。
グローリー株式会社 / GLORY LTD. https://www.glory.co.jp/ 【出展物概要】弊社は赤外線3 次元センシング技術と，人の骨格推定と距離情報から姿勢を正確に認識できるAI 画像認識技術を応用し，高齢者施設などの居室を見守る転倒検知システム「ミライアイ」を開発しました。プライバシーに配慮しつつ入居者様の異常状態（転倒やベッドずり落ち等）を検知して介護スタッフに通知する事で，入居者様の素早いケアや，夜間見回りなど介護スタッフの負担軽減を実現しています。
ポリテックジャパン株式会社 / Polytec Japan https://www.polytec.com/jp 【出展物概要】測定周波数帯域は最大6GHz。MEMSのシリコンキャップ越しの振動測定も可能。測定データは振動モードをアニメーション表示，かつ，表面粗さ・形状測定では3Dカラー表示で分かりやすく視覚化。ポリテックならセンサ・マイクロマシン技術で必要とされるナノメートル分解能の高精度な変位や形状測定を驚くほどスピーディかつ簡単に実現することができます。

日本ゼオン株式会社 / ZEON CORPORATION https://www.zeonoss.com/ 【出展物概要】シクロオレフィンポリマー（ COP ）を用いたマイクロ流路チップワンストップサービスのご紹介
ASTI株式会社 / ASTI CORPORATION https://www.asti.co.jp/micro-device/ 【出展物概要】横孔式中空マイクロニードル（新規開発品）やマイクロ流路デバイスを中心に展示します。また，細く低侵襲な注射針や薬剤を無駄にしない注射器などの医療機器も併せて展示いたします。
株式会社エス・イー・アール / S.E.R. Corporation https://www.ser.co.jp/ 【出展物概要】・センサ，MEMS デバイスの評価，検証用ソケット製品・同軸端子構造を持つ高周波デバイス対応IC ソケット・Lab-on-chip，マイクロ化学システム（microTAS），DNA チップに対応したインターフェースユニット製品“RYURO”
日本カンタム・デザイン株式会社 / Quantum Design Japan https://www.qd-japan.com/products/driveafm/ 【出展物概要】微細加工技術の進歩に伴い，加工後の製作物の検査技術も進歩し続けています。昨年リリースされたばかりのSEM・AFM一体型装置「FusionScope」のほか，スイスNanosurf社製AFMをご紹介します。また，新しく取り扱いを開始したカナダZaber社の組込式リニアステージについてもご紹介します。
一般財団法人マイクロマシンセンター / Micromachine Center https://www.mmc.or.jp 【出展物概要】 8インチ及び一部12インチのSiウエハに対応した60種類以上のMEMS加工･評価装置を利用できるMNOICの研究開発支援活動,MEMSプロセス技術及び国家プロジェクトに参画して試作したMEMSデバイスのサンプルウエハを展示します。
ローム株式会社 / ROHM Co., Ltd. https://www.rohm.co.jp/ 【出展物概要】センサ・マイクロマシンの応用の際に役立つロームの技術を紹介します
ジオマテック株式会社 / GEOMATEC Co.,Ltd. https://www.geomatec.co.jp/ 【出展物概要】・表面処理技術：真空成膜，表面改質，フォトリソグラフ・薄膜センサ素子：薄膜熱電対，薄膜ひずみゲージ，超小型ロードセル
東京応化工業株式会社 / TOKYO OHKA KOGYO CO.,LTD. https://www.tok.co.jp/ 【出展物概要】東京応化工業は，感光性材料フォトレジストのトップメーカーとして高分子設計技術・微細加工技術・高純度化技術を応用しさまざまな産業分野の開発をサポートします。本展示ではマイクロ流路やMEMS などの構造体形成材料や超親水コーティング材料，感光性撥水/撥油材料，UV ナノインプリント材料，多孔質ポリイミドフイルムなどをご紹介します。
株式会社デンソー / DENSO CORPORATION https://www.denso.com/jp/ja/ 【出展物概要】デンソーは，無機材料系の薄膜エレクトレットを用いた，MEMS型振動発電デバイスの開発を目指しています。弊社が新規開発したエレクトレット薄膜材料は，無機イオン伝導性の材料で，表面電位：～600Vを保持しています。この材料を用いた機械式静電式振動発電デバイスの発電量は～500μW（最大値）です。今後は，本技術のMEMSデバイス化に取組み、車載デバイスへの応用を目指します。また，開発中のMEMS振動発電デバイスのアプリケーションアイデアを募集しています。是非ブースにお立ち寄りください。
住友精密工業株式会社 / Sumitomo Precision Products co., ltd. https://www.spp.co.jp/ 【出展物概要】住友精密グループが30年以上のMEMS事業の歴史で培った3つの強みである，「デバイス開発」，「量産能力」，「プロセス装置技術」で，お客様のMEMSデバイス事業化を全面的にサポートします。MEMSデバイスの事業化をご検討の方は，是非お立ち寄りください。
株式会社ミライズテクノロジーズ / MIRISE Technologies Corporation https://www.mirise-techs.com/ 【出展物概要】・デンソーとトヨタの半導体技術を結集・半導体でイノベーションを起こし,未来のモビリティ社会を実現・世界の研究パートナーと共に車載半導体のイノベーションをリード
ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社 / Heidelberg Instruments KK https://heidelberg-instruments.com/ 【出展物概要】ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニク社製マスクレスレーザー露光機，3Dプリンター，サーマルプローブリソグラフィー装置の紹介を致します。マスクレスレーザー露光機は卓上型から大型基板向け装置をフルラインナップ。3Dプリンターは2光子重合法での最小100nm構造形成が可能。サーマルプローブリソグラフィー装置は数十nmのパタニングが可能なユニークな装置です。
株式会社アイカムス・ラボ / Icomes Lab Co., Ltd. https://www.icomes.co.jp/ 【出展物概要】マイクロ流体デバイス，マイクロチューブポンプシステム
株式会社ASICON/microfluidic ChipShop/Fluigent / ASICON/microfluidic ChipShop/Fluigent https://www.asicon-tokyo.com 【出展物概要】 1. マイクロ流体チップカタログ掲載 / off-the-shelf品の販売と試作，量産･OEM生産に対応。例: Organ-on-a-chip / MPS，W/O液滴生成，細胞のソーティング，DNAの抽出やPCRによる増幅･検出 2. 圧力制御式ポンプ脈流の無い高速応答のポンプシステムFlow EZ。用途例: 還流細胞培養，微小液滴生成，リポソーム等のDDS粒子生成 3. 自動細胞培養装置 OMI 灌流，再循環等の送液プロトコルを設定可。インキュベータ内で使用可能。
セイコーエプソン株式会社 / SEIKO EPSON CORPORATION https://www.epson.jp/ 【出展物概要】セイコーエプソンのMEMS・環境・材料技術の紹介および実機展示
文部科学省　マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM Japan） / Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology in Japan （ARIM Japan） https://nanonet.mext.go.jp/ 【出展物概要】マテリアル先端リサーチインフラは，全国の大学研究設備の共用事業です。皆様の研究開発に必要な微細加工プロセス，計測・分析等の装置の利用と技術，ノウハウを専任技術スタッフが提供します。展示では，共用サービスの概要と利用方法，利用事例などをご紹介します。
東京大学マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点～革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル～（東京大学・広島大学・日本原子力研究開発機構） / Center of The University of Tokyo for The Advanced Research Infrastructure for Materials and Data Hub https://arim.t.u-tokyo.ac.jp/ 【出展物概要】「あなたの実験室が東京大学にあります。」 MEMSデバイスが作製できる超高速電子線露光装置，シリコン深堀エッチング装置をはじめとする最先端の微細加工装置群と透過電子顕微鏡，X線回折などのナノスケールの解析装置を共用しています。
株式会社SIJテクノロジ / SIJTechnology, Inc. https://sijtechnology.com/ 【出展物概要】シングルミクロンレベルの微細塗布が可能な世界最小液滴を形成できるスーパーインクジェット技術をはじめ，ピエゾインクジェット，ディスペンサー技術，スプレー技術，5軸3Dプリンテッドエレクトロニクスシステムなど塗布技術，装置技術をご紹介させて頂きます。
株式会社テクニスコ / TECNISCO, LTD. https://www.tecnisco.com/ 【出展物概要】 MEMS部品のキャップガラス，微細加工の紹介
シーエステック株式会社 / CSTEC CORPORATION https://www.cstec-jp.com 【出展物概要】オリジナルマイクロ流路を1個から製作できます。
BMF Japan 株式会社 / BMF Japan Inc. https://www.bmf3d.co.jp/ 【出展物概要】 BMF社は解像度(Resolution)，正確度(Accuracy)，精度(Precision)という3つの重要な分野で，卓越した独自の組み合わせを必要とするさまざまな事例に対応する，最先端の常識を打ち破る精密3D造形技術を提供します。BMFの独自の積層造形技術により，圧倒的な精度2µmと±10µmの公差を実現しています。金型製作不要で，製品開発コストの大幅な削減や開発期間短縮を実現できるだけでなく，従来の切削加工や金型では難しい複雑微細構造を実現します。
ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社 / Sony Semiconductor Manufacturing Corporation https://www.sony-semicon.com/ja/index.html 【出展物概要】 CMOSイメージセンサーのデモを出展します。
MMIセミコンダクター株式会社 / MMI SEMICONDUCTOR CO., LTD. https://www.mmi-semiconductor.co.jp/ 【出展物概要】弊社は1990年代から様々なMEMS製品を事業化し，世に送り出してきました。ミネベアミツミ傘下で2021年秋に新会社のMMIセミコンダクター(株)として新たなスタートを切りました※。弊社で展開するMEMS事業および技術の紹介をしていますので，ぜひブースへお越しください。（※ オムロンの半導体工場とMEMS事業が，2021年10月にミネベアミツミグループへ譲渡されました）
株式会社アドバンテスト / ADVANTEST CORPORATION https://www.advantest.com/ja/ 【出展物概要】温度,ひずみなどの計温度，ひずみなどの計測を無線で簡単に行えるデータロガーを展示します。超小型の測定ユニットで測定したデータを無線通信でPCにリアルタイム表示。電圧，圧力，加速度などの計測も同時に行えます。また，半導体製造装置の内部を計測する専用計測器も参考出展します。
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ / SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd. https://www.screen.co.jp/spe/ 【出展物概要】スマートフォンや家電製品，自動車をはじめ，各種センシングデバイス，MEMS，パワーデバイス，IoTなどにも大きく関与する半導体。私たちは京都に本社を構える創業80周年の半導体製造装置メーカーです。グローバルシェアNo.1のウェーハ洗浄装置のほか，塗布・現像，熱処理，検査・計測分野で活躍する，多彩な装置ラインアップをご紹介します。
ネオアーク株式会社 / NEOARK CORPORATION https://www.neoark.co.jp/product/palet.html 【出展物概要】 ◎マスクレス露光装置 PALET （メインでご紹介）・コンパクト，簡単操作，低価格＝手軽に電極パターンや流路製作，光刺激などが可能特徴①：デスクトップPC サイズ＝設置場所を選ばない特徴②：ユーザフレンドリーなオリジナルソフト＝初心者にも扱いやすい特徴③：約１０分の１～の価格設定＝圧倒的な低価格 ◎3次元形状レーザ露光装置（簡易ご紹介）特徴：様々な3次元形状（曲面，球面，円筒，など）へ露光可能
ハイソル株式会社 / HiSOL,Inc. https://www.hisol.jp/ 【出展物概要】・マニュアルダイボンダー・マニュアルワイヤーボンダー
株式会社マトリクソーム / MATRIXOME, Inc. https://matrixome.co.jp/ 【出展物概要】 iMatrix製品細胞は細胞外マトリックス（ECM ）と相互作用（接着）する事で細胞の運命を決定しています。 ECM タンパク質の一種であるラミニンは少なくとも 12 種類のアイソフォームがあり，組織ごとに特徴的な発現をする事が知られています。 ECM 環境が無い細胞培養では，生体内と同じ生理活性を示すことが困難です。しかし，ラミニンの E8 断片を高純度に精製した iMatrix 製品は，細胞培養基質として生体内の環境を細胞培養で再現する事が期待できます。
株式会社新興精機 / Shinkouseiki Co., Ltd. https://www.shinkouseiki.co.jp/ 【出展物概要】 1964年の創業以来,医科機器･理化学機器一筋に歩んで参りました。現在,商社兼独自の製品開発を行うメーカーとしての強みを活かし,産官学全てを対象に最先端分野の研究に必要な分析櫨器･計測器等をご提供しています。今回展示している韓国FEMTO SCIENCE のプラズマ装置は,日本国内の総発売元として晨示しています。この装置は長年にわたり多くのCheminas学会員様にご愛用頂き,ユーザ一様のご息見を参考にリニューアルした製品になります。弊社のオリジナル商品及び正規直輸入をまとめたリーフレットも是非ご覧下さい。
ロイヤルセンシング合同会社 / Loyal Sensing LLC http://www.loyalsensing.com/ 【出展物概要】弊社は磁気応用センサを研究しています．研究のコンセプトは磁性体とコイルだけで構成するシンプルさです．しかし奇抜な発想により，高感度な磁界センサや，オフセットが生じない直流大電流センサなどを実現しています．今般は，100mmの距離でφ0.1mmの鉄球を検出できる金属検出機に搭載されているUM磁界センサと，kAオーダの電流を通電してもmAレベルのオフセットすら生じない直流電流センサを出展します．
株式会社ティ・ディ・シー / TDC Corporation https://mirror-polish.com/ 【出展物概要】超精密研磨加工技術多様な材質のウエハ精密研磨，薄化研磨ウエハ洗浄サービス，接合サービスナノインプリント金型の精密研磨技術などをご紹介します。
SPPテクノロジーズ株式会社 / SPP Technologies Co., Ltd. https://www.spp-technologies.co.jp/ 【出展物概要】 SPPテクノロジーズは，MEMSデバイスならびに半導体デバイス（化合物半導体：パワーデバイス，高周波デバイス，光デバイス）製造用装置の開発，製造，輸入，販売，および保守（リモートサポート対応可能）を行っております。ニッチマーケットをターゲットとして，それぞれの市場でトップを狙います。
兵庫県立大学MEMSデバイス開発支援センター / University of Hyoto MEMS development support center https://d4uh.sakura.ne.jp/MEMSC/ 【出展物概要】 4インチ Si プロセス装置が報告書等も不要でお気軽にご利用可能です。姫路に寄ったついでに MEMS プロセスいかがでしょうか？圧電 PZT 薄膜やNdFeB 磁石薄膜基板のサンプル供給，その他 MEMS プロセス依頼加工も承ります。商用利用も可。展示ではウエハサンプルもご覧になれます。主な利用可能設備：熱酸化炉， CVD ，汎用スパッタ， PZT スパッタ，マスクアライナ， EB 描画， DRIE ，汎用 ICP RIE SEM AFM ，ドップラー振動計，高速度カメラ他
株式会社タクミナ / TACMINA CORPORATION https://www.tacmina.co.jp/ 【出展物概要】・ラボ用 5～5000µL/min×3.0MPa 高圧微小流量ダイヤフラムポンプ『Q』・パイロット～生産設備用 300ml/min×10.0MPa 高精密ダイヤフラムポンプ『TPL』
豊橋技術科学大学次世代半導体・センサ科学研究所 / Institute for Research on next-generation Semiconductor and Sensing Science, Toyohashi University of Technolog https://www.eiiris.tut.ac.jp/ 【出展物概要】豊橋技術科学大学次世代半導体・センサ科学研究所(IRES²)は次世代半導体技術およびセンシング技術を基盤とした「エレクトロニクス革新技術」を先端的応用分野との融合研究を通じて，社会実装への展開を目的としています。本研究所の「LSI工場」は世界でも稀な半導体集積回路・センサを設計から製作・評価まで一気通貫で行える共同利用施設であり，学外からの利用も広く受け入れ研究開発にお役立ていただけます。
株式会社TCK / TCK inc. http://tck-i.jp/ 【出展物概要】微細加工用各種装置（光加工ならびに電子ビーム加工）のカタログ展示と，超高真空用ハイブリッド型スパッタリング・イオン・ポンプを展示します。特にSIPは，従来製品よりも小型でありながら30〜100倍以上の排気性能を実現し，またケミカル作用を応用した非蒸発型ゲッターポンプとのハイブリッド化による停電対応も実現した製品です。
東洋精密工業株式会社 / TOYO PRECISION PARTS MFG. CO., LTD https://www.toyo-ppm.co.jp/ 【出展物概要】半導体素子やパッケージ，ディスプレイ，MEMS センサなどの製品に広く使用されています。（9 インチ以下なら，座標精度保証可能）その他，校正用の原器やスケールとしても用いられています。
三井化学株式会社 / Mitsui Chemicals, Inc. https://jp.mitsuichemicals.com/jp/index.htm 【出展物概要】弊社が開発したポリ乳酸をベースとした有機圧電フィルム（ミューフレックス®）とその応用事例を出展します。ミューフレックス®は従来の有機圧電材料（PVDF）に比べ非焦電性由来の高い温度安定性を有しており，民生家電分野の押圧センサやバイタルセンサで社会実装が進んでいます。またPFAS規制の対象外であることも特徴です。今回，センサやアクチュエータとしての応用事例を見て触って体感できる形で展示致します。
株式会社シーズテック京都バイオ研究所 / SEEDS TEC Co., Ltd. 【出展物概要】
太洋工業株式会社 / TAIYO INDUSTRIAL CO.,LTD. https://www.taiyo-tx.com/ 【出展物概要】・FPCを使用した各種センサーのご紹介。・「FPCができるまで」製造工程を動画にてご説明。
田中貴金属工業株式会社 / TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K. https://www.tanaka.co.jp/ 【出展物概要】・ウェハレベル封止ボンディング向け金スズ施工技術のご紹介・低温接合，高温耐久PbフリーTLP接合材料のご紹介
フコク物産株式会社 / FUKOKU BUSSAN CO.,LTD. https://fukoku-jp.net/ 【出展物概要】 PDMSマイクロ流路chip親水化サンプル他
マイクロ化学技研株式会社 / Institute of Microchemical Technology Co., Ltd. https://www.j-mt.co.jp/ 【出展物概要】マイクロフルイディクスの実験に不可欠な空圧式送液装置と流路幅のラインナップが充実した既製品ガラスチップ
アメテック株式会社ザイゴ事業部 / ZYGO Business Unit, AMETEK KK https://www.zygo.jp/ 【出展物概要】弊社ZYGOの垂直走査低コヒーレンス干渉計(白色干渉計)である，Nexview NX2・Newview9000・ZeGage Proシリーズについて出展いたします。弊社は本分野で30年以上の実績があり，どのような測定に対してもより多くのデータを取得し，誰でも短時間，簡単に高い信頼性をもつデータ取得が可能できるという点に注力しております。
神港精機株式会社 / SHINKO SEIKI CO.,LTD. https://www.shinko-seiki.com/ 【出展物概要】関西ものづくり新選2023にて入賞したアーク放電式スパッタリング装置をはじめ，DLCコーティングシステム等，紹介パネルと共にサンプルを展示いたします。
豊橋技術科学大学集積化バイオセンサ・MEMSグループ / Integrated Biosensor and MEMS Group, Toyohashi University of Technology https://int.ee.tut.ac.jp/bio/ 【出展物概要】豊橋技術科学大学では，東京工業大学、広島大学と共に集積Green-niX研究・人材育成拠点事業を展開しています。システム・回路・デバイス・プロセス・材料の集積研究とLSIイノベーターの育成を推進しています。また，集積化バイオセンサと次世代MEMS・センサ融合デバイスの実現を目指してLSIで病気の診断や脳科学・生命科学に貢献できる研究を行っています。
メイワフォーシス株式会社 / Meiwafosis Co., Ltd. https://meiwanet.co.jp/ 【出展物概要】私たちのTisseLabsバイオ3Dプリンターは細胞とECMを混ぜ合わせたハイドロゲルをプリントすることで，血管や皮膚などの組織を模倣した3D構造物を作成します。さらに独自のミクストルーサーシステムを採用したことでグラデーションのある構造物も高度に模式します。幹細胞を使用した組織作成や新規ハイドロゲルの開発に興味のある方は，ぜひメイワフォーシス株式会社のブースへお越しください。
アルテック株式会社 / ALTECH CO., LTD. https://www.altech.co.jp/ 【出展物概要】フランスFUMMINK社が開発した『NAZCA』は今までにない革新的なナノ・マイクロレベルのパターニング装置です。高粘度のメタルやポリマーなど多様なインク材料をシリコンウェハはもとよりフィルムなど多様な基板に対しAFMの技術を応用した特許技術と独自のナノ口径ピペットを使用し，サブミクロンから数十ミクロンのパターンのダイレクトプリンティングを可能としています。
株式会社マクニカアルティマカンパニー / MACNICA, Inc., ALTIMA Company https://www.macnica.co.jp/ 【出展物概要】バイオセンシングに多くの利点ある，小型・携帯型の電気化学計測器と化学センサー例
株式会社ハイロックス / HIROX Co., Ltd. https://hirox.com/ 【出展物概要】「観る・撮る・測る」を1台で実現する拡大観察システム，デジタルマイクロスコープをご紹介します。官公庁などの研究機関，企業の研究部門，品質保証部門で多くご活用いただいています。・0～7000倍のレンズラインナップで様々な対象物を観察可能・各種2D計測機能だけでなく，高低差・粗さなど3D計測機能対応・レンズ，スタンド全てが電動で誰もが簡単に精密な操作が可能
大阪公立大学　機能デバイス物性研究室 / Osaka Metropolitan University/Physics of Novel Device Group https://sites.google.com/view/magnetic-energy-harvesting/ 【出展物概要】交流電流が流れる電線に設置するだけでmWクラスの発電が可能なエネルギーハーベスティング(環境発電)技術です。電線の周りに発生する磁界を利用するので，導体自体には触れず絶縁被膜も破りません。そのため，電気工事が不要で後付けが容易，漏電の心配がなく安全性が高い等の特徴を有します。本発電技術は，屋外，地下，水中などの過酷環境でも利用可能であり，民生／産業用IoT端末の電力供給源として最適です。
グローリー株式会社 / GLORY LTD. https://www.glory.co.jp/ 【出展物概要】弊社は赤外線3 次元センシング技術と，人の骨格推定と距離情報から姿勢を正確に認識できるAI 画像認識技術を応用し，高齢者施設などの居室を見守る転倒検知システム「ミライアイ」を開発しました。プライバシーに配慮しつつ入居者様の異常状態（転倒やベッドずり落ち等）を検知して介護スタッフに通知する事で，入居者様の素早いケアや，夜間見回りなど介護スタッフの負担軽減を実現しています。
ポリテックジャパン株式会社 / Polytec Japan https://www.polytec.com/jp 【出展物概要】測定周波数帯域は最大6GHz。MEMSのシリコンキャップ越しの振動測定も可能。測定データは振動モードをアニメーション表示，かつ，表面粗さ・形状測定では3Dカラー表示で分かりやすく視覚化。ポリテックならセンサ・マイクロマシン技術で必要とされるナノメートル分解能の高精度な変位や形状測定を驚くほどスピーディかつ簡単に実現することができます。