出展概要

第31回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム、第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム、第6回集積化MEMSシンポジウム
技術展示出展者リスト

会場：くにびきメッセ（島根県立産業交流会館）
展示時間：10月20日～22日
出展者プレゼンテーションセッション：10月21日 12:40-13:45

旭化成グループ

＜ブース番号＞ A1 ＜出展概要＞ 旭化成グループの概要、電子コンパス、センサ製品

株式会社イングスシナノ

＜ブース番号＞ B1 ＜出展概要＞ ・ワイヤー本ディング実装・フリップチップ実装・気密封止（シーム溶接）の実装受託

SPPテクノロジーズ株式会社

＜ブース番号＞ B2 ＜出展概要＞ SPPテクノロジーズが取り扱っているMEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)をはじめ、SiCエッチング装置や化合物/酸化膜エッチング装置、犠牲層エッチング装置、プラズマCVD装置、PVD装置、熱処理装置など各種製造装置をご紹介する。 ＜プレゼンテーション＞ 12:55-13:00 「SPPテクノロジーズのMEMS・半導体向け製造装置の最新技術と動向」 マーケティング部マーケティングコミニュケーショングループ長　金尾　寛人

NTTアドバンステクノロジ株式会社

＜ブース番号＞ A2 ＜出展概要＞ LSI/MEMS施策の受託開発サービス、STP転写成膜装置、小型超臨界乾燥装置、加圧／減圧対応卓上型クリーンオーブン ＜プレゼンテーション＞ 12:45-12:50 「小型超臨界乾燥装置　PCO-4SC のご紹介」 ナノテクビジネスユニット担当課長　増田　修

株式会社NTTデータ数理システム

＜ブース番号＞ B3 ＜出展概要＞ MEMSpice / ParadiseWorld-2 ＜プレゼンテーション＞ 13:00-13:05 「MEMS・半導体ソリューションの御紹介」 科学技術部研究員　望月　俊輔

MNOIC/（一財）マイクロマシンセンター

＜ブース番号＞ B4 ＜出展概要＞ ポスター、8インチウエハー ＜プレゼンテーション＞ 12:40-12:45 8/12インチMEMS研究施設を用いたMNOIC研究支援サービスのご紹介 MNOIC開発センター 副センター長　原田 武

クラスターテクノロジー株式会社

＜ブース番号＞ A3 ＜出展概要＞ インクジェットシステム（パルスインジェクター・WaveBuilder・DeskViewer) ＜プレゼンテーション＞ 12:50-12:55 「インクジェットヘッド「パルスインジェクター」と弊社インクジェットシステムラインナップのご紹介」 営業・マーケティング本部　主任　徳本　多佳子

（独）産業技術総合研究所

＜ブース番号＞ B10 ＜出展概要＞ 産総研が共用施設として公開しているスーパークリーンルーム（SCR）とイノベーション創出機器共用プラットフォーム(IBEC)の宣伝を行う。具体的な展示物は、ポスターを2枚、SCRで加工した300 mmウェハーのサンプルを3枚、100mmウェハーサンプルを2枚、パンフレットを5～10種類程度を予定。 ＜プレゼンテーション＞ 13:25-13:30 「産総研、スーパークリーンルームの利用機会」 SCR運営室総括主幹　右田 真司

株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン

＜ブース番号＞ B5 ＜出展概要＞ 高精度ジャイロセンサCRH01、MEMSファンドリーサービス ＜プレゼンテーション＞ 13:05-13:15 「FOG性能を実現したMEMSジャイロの製品化、およびファンドリー事業の紹介」 営業部　企画グループ長　松岡　元

立山マシン株式会社

＜ブース番号＞ B6 ＜出展概要＞ 研究開発向けDRIE装置、研究開発向け卓上サイズDRIE装置、金属ナノ粒子分散液

東北大学田中（秀）研究室

＜ブース番号＞ B13 ＜出展概要＞ 田中（秀）研究室の研究成果発表

名古屋大学　超高圧電子顕微鏡施設

＜ブース番号＞ B11 ＜出展概要＞ 名古屋大学　超高圧電子顕微鏡施設では、文科省のナノテクノロジープラットフォーム事業において、名古屋大学が保有する高性能な電子顕微鏡群による観察・分析・解析技術を産学官に提供して、新規材料の研究開発、評価技術、特性発現機構の解明などの技術課題解決のための支援事業を実施しています。その電顕による支援事業の紹介ポスターおよびパンフレットを展示して支援事業を説明 ＜プレゼンテーション＞ 13:30-13:35 「ナノ構造解析は 名古屋大学へ！」 特任教授　春日部 進

株式会社ノビテック

＜ブース番号＞ B7 ＜出展概要＞ 2色式温度計測カメラシステムThermera、ハンディハイスピードカメラPhantom Miro ＜プレゼンテーション＞ 13:15-13:20 「放射率補正不要の温度計測と高速度撮影技術について」 大阪営業所 営業担当　長谷川　大祐

古野電気株式会社

＜ブース番号＞ B8 ＜出展概要＞ 魚群探知機、GPSコンパス ＜プレゼンテーション＞ 13:20-13:25 「古野電気の魚群探知機の現状」 営業企画部企画1課　王　勇

MEMSパークコンソーシアム

＜ブース番号＞ B12 ＜出展概要＞ MEMSパークコンソーシアム活動案内

MemsONE/（一財）マイクロマシンセンター

＜ブース番号＞ B9 ＜出展概要＞ MemsONE：MEMS設計・解析支援システム（ソフトウェア）

問合せ先

第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム事務局
株式会社セミコンダクタポータル

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