技術展示出展

第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム，第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム，第9回集積化MEMSシンポジウムに併催される技術展示では，出展者のご協力によって，センサ，MEMSデバイス関係およびその応用システム製品，各種設計ツール，製造装置，テスト評価装置，測定機器，実装技術関連，材料，書籍等を広くシンポジウム参加者に紹介いたします。 また，出展社による技術プレゼンテーション（各社5分予定）が10月31日（火），11月1日（水）に予定されております。

会場：
　　広島国際会議場　　フェニックスホールホワイエ，ダリア

展示時間（予定）：
　　10月31日（火）　10:50～19:00
　　11月 1日（水）　9:00～18:20
　　11月 2日（木）　9:00～15:10

出展社リスト

株式会社イングスシナノ ＜出展概要＞ ・ワイヤーボンディング実装 ・フリップチップ実装 ・中空気密封止（シーム溶接） 　上記作業の受託事業

株式会社エス・イー・アール ＜出展概要＞ ・センサ、MEMSデバイスの評価、検証用ソケット製品 ・同軸端子構造を持つ高周波デバイス対応ICソケット ・Lab-on-chip、マイクロ化学システム(microTAS)、DNAチップに対応したインターフェースユニット製品”RYURO"

SPPテクノロジーズ株式会社 ＜出展概要＞ SPPテクノロジーズが取り扱っているMEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)をはじめ、SiCエッチング装置や化合物/酸化膜エッチング装置、犠牲層エッチング装置、プラズマCVD装置、PVD装置、熱処理装置など各種製造装置をご紹介します。

NTTアドバンステクノロジ株式会社 ＜出展概要＞ 静電容量型 MEMS 加速度センサ：高密度の金を基板上に積層した、微小な機械構造を有する高分解能（0.5 µG/√Hz）MEMS 加速度センサです。一般的なシリコンMEMS 加速度センサと比べて、デバイスのノイズレベルを大幅に小さくすることができました。当日は実物の展示も行います。

エレクトレット環境発電アライアンス ＜出展概要＞ ・エレクトレット振動発電器 ・異常振動検知モジュール

オムロン株式会社 ＜出展概要＞ ・環境センサ ・振動発電デバイス ・人感センサ ・絶対圧センサ

Coventor Japan 合同会社 ＜出展概要＞ Coventor MP SEMulator3D

株式会社島津製作所 ＜出展概要＞ ・自動不良解析システム ・材料試験機 ・非破壊検査装置

田中貴金属工業株式会社 ＜出展概要＞ SQ 工法(新工法)による MEMS WAFER 向け AuSn 半田施工技術 用途：気密封止、接合(Bump 用途、電極用途)

株式会社ティ・ディ・シー ＜出展概要＞ ・超精密鏡面加工品（金属・セラミックス・樹脂・ガラス） ・超精密鏡面ロール（SUS304） ・超精密鏡面長尺金属箔（SUS304） ・超精密シム・スペーサー

株式会社テクニスコ ＜出展概要＞ テクニスコは、独創の微細MEMS技術で、センサ各種の部品製造の開発をサポートします。（例：圧力、加速度、発電、バイオセンサー、C-MOS用のガラスキャップ、ミラーデバイス、ディスプレイ、HUD、ヒートシンクなど）

株式会社デンソー ＜出展概要＞ デンソーにおける安心・安全分野と環境分野の取組を紹介します。

ナノテクキャリアアップアライアンス (Nanotech CUPAL) ＜出展概要＞ 科学技術人材育成費補助事業「科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業」に基づいてナノテクノロジー分野において実施している人材育成のための教育プログラムの概要と具体的なコース内容について紹介する。

文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業 微細加工プラットフォーム ＜出展概要＞ 微細加工プラットフォームは全国16大学、研究機関の保有する最先端のマイクロ・ナノ加工、評価装置を公開し、皆様の研究開発の支援を行っています。展示では、プラットフォームの概要と利用事例などを紹介します。

ネオアーク株式会社 ＜出展概要＞ ・レーザードップラ振動計・マスクレス露光装置

浜松ホトニクス株式会社 ＜出展概要＞ ラマン分光モジュール 2Dスキャンエンジン

フォームファクター株式会社 ＜出展概要＞ MEMS型プローブカード、デバイス特性評価用プローバおよびプローブ

一般財団法人マイクロマシンセンター ＜出展概要＞ MNOIC(MicroNano Open Innovation Center)の活動をパネルで紹介します。

MEMS Engineer Forum (MEF) ＜出展概要＞ MEMS Engineer Forum (MEF)は、21世紀のキーテクノロジーとされるMEMS技術の現状と、向こう10年までの技術の将来に迫る、この分野のキープレイヤーの中でもエンジニアを中心に運営されるユニークな場です。2018年4月25-26日開催のMEF2018は10周年を記念して行われます。

ローツェ ＜出展概要＞ ・ センサを応用したロボット・装置の劣化予兆診断と異常検出 ・ ローツェグループのご紹介

ローム株式会社 ＜出展概要＞ ・パネル：会社概要／加速度センサ／MIセンサ／カラーセンサ センサメダル、センサシールド、センサネットワーク ・デモ機：センサメダル、センサシールド

出展社による技術プレゼンテーション