出展概要
第30回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム、第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム、第5回集積化MEMSシンポジウム
技術展示出展者リスト
会場：仙台国際センターP会場（桜、2F)
展示時間：11月5日（火）10:30～18:00、11月6日（水）9:00～17:50、11月7日（木）9:00～15:00
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株式会社イングスシナノ
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- ＜出展概要＞
- ワイヤーボンディング実装、フリップチップ実装、気密封止（シーム溶接）の実装受託
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SPPテクノロジーズ株式会社
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- ＜出展概要＞
- SPPテクノロジーズが取り扱っているMEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)をはじめ、SiCエッチング装置や化合物/酸化膜エッチング装置、犠牲層エッチング装置、プラズマCVD装置、PVD装置、熱処理装置など各種製造装置をご紹介する
- ＜出展者プレゼンテーション＞
- 11月6日 12:45-12:50
SPPテクノロジーズのMEMS・半導体向け製造装置の最新技術と動向
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株式会社NTTデータ数理システム
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- ＜出展概要＞
- MEMSpice:MEMS機械・電気回路連成シミュレータ、ParadiseWorld-2:LSI, MEMS形状シミュレータ・寄生抽出
- ＜出展者プレゼンテーション＞
- 11月6日 12:50-12:55
NTTデータ数理システムのMEMSソリューションのご紹介
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MNOIC/（一財）マイクロマシンセンター
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- ＜出展概要＞
- 8インチあるいは12インチウエハー
- ＜出展者プレゼンテーション＞
- 11月7日 13:05-13:10
世界最先端大型MEMS研究拠点を用いた研究支援サービスMNOIC
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クラスターテクノロジー株式会社
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- ＜出展概要＞
- インクジェットシステム（パルスインジェクター・WaveBuilder・DeskViewer)
- ＜出展者プレゼンテーション＞
- 11月6日 13:00-13:05
インクジェット「パルスインジェクター」の紹介
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計測エンジニアリングシステム株式会社
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- ＜出展概要＞
- マルチフィジックスシミュレーションソフトウェア「COMSOL Multiphysics」実機デモおよび資料配付
- ＜出展者プレゼンテーション＞
- 11月6日 13:05-13:10
マルチフィジックスシミュレーションソフトウエアCOMSOL Multiphysic®のご紹介
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ネオアーク株式会社
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- ＜出展概要＞
- サニャック干渉方式振動観察装置、ドップラー方式振動計
- ＜出展者プレゼンテーション＞
- 11月7日 12:55-13:00
高周波帯振動観察装置
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（一財）マイクロマシンセンター/BEANS技術研究センター
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- ＜出展概要＞
- (独）新エネルギー・産業技術総合開発機構プロジェクト「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト」（BEANSプロジェクト）の研究成果（特許）の紹介
- ＜出展者プレゼンテーション＞
- 11月7日 13:00-13:05
BEANSパテントショップの紹介（BEANS：異分野融合型次世代デバイス／Bio Electromechanical Autonomous Nano Syatems）
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微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム
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- ＜出展概要＞
- 文部省科学省 ナノテクノロジープラットフォーム事業の中で、半導体やMEMSデバイスの製造・評価装置を広く利用開放している微細加工プラットフォームの事業概要（目的、プラットフォームの利用方法、利用成果事例、等）を説明する
- ＜出展者プレゼンテーション＞
- 11月6日 12:55-13:00
微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム 微細加工プラットフォームの紹介
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株式会社マツボー
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- ＜出展概要＞
- AMS(Advanced modular Systems, Inc.)社製圧電膜用スパッタ装置、膜圧トリミング装置
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名古屋大学 超高圧電子顕微鏡施設
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- ＜出展概要＞
- 名古屋大学 超高圧電子顕微鏡施設では、文科省のナノテクノロジープラットフォーム事業において、名古屋大学が保有する高性能な電子顕微鏡群による観察・分析・解析技術を産学官に提供して、新規材料の研究開発、評価技術、特性発現機構の解明などの技術課題解決のための支援事業を実施しています。その電顕による支援事業の紹介ポスターおよびパンフレットを展示して支援事業を説明します。
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問合せ先
第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム事務局
株式会社セミコンダクタポータル
